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深圳技术大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
信息来源: ******[查看]
|地区:广东
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:广东
源发布时间:2025-03-07
招标单位:******[查看]
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******大学微纳加工中心工艺设备安装配套系统意向公开
采购单位:******大学
项目名称:微纳加工中心工艺设备安装配套系统
预算金额(元):3,400,000.000
采购品目:其他试验仪器及装置
采购需求概况:1.EBL :排风、电力、给排水、大宗气体1套;2.Stepper :排风、电力、给排水、大宗气体1套;3.自动涂胶显影机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;4.激光直写光刻机:电力、给排水、大宗气体1套;5半自动接触对准光刻机:电力、给排水、大宗气体1套;6.晶圆键合机:排风、电力、大宗气体1套;7.等离子体清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;8.喷胶机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;9.HMDS真空烘箱:排风、电力、大宗气体1套;10.无氧烘箱:排风、电力、给排水、大宗气体1套;11.通风橱:排风、电力、给排水、大宗气体4套;12.显影清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;13.手动显影清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;14.半自动显影清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;15.洁净烘箱1(MOLWG-288):排风、电力、大宗气体2套;16.洁净烘箱2(MOLWG-120):排风、电力、给排水、大宗气体1套;17.清洗甩干机1:排风、电力、给排水、大宗气体2套;18.DRIE:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;19.RIE :排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;20.ICP介质 :排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;21.ICP金属 :排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;22.ICP III-V :排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;23.Asher:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;24.XeF2:排风、电力、大宗气体&特气、尾排1套;25.ICPCVD:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;26.PECVD:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;27.ALD:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;28.IBE:排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;29.CAIBE:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;30.Sputter(金属):排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;31.Sputter(介质):排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;32.E-beam蒸镀1:排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;33.E-beam蒸镀2:排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;34.光学电子束蒸发镀膜机:排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;35.热蒸镀:排风、电力、给排水、大宗气体、尾排1套;36.RTP:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;37.台阶仪:电力、大宗气体1套;38.薄膜应力仪:排风、电力、大宗气体1套;39.椭偏仪:电力、大宗气体1套;40.AFM:电力、大宗气体1套;41.FIB:电力、给排水、大宗气体1套;42.SEM:电力、给排水、大宗气体1套;43.离子溅射仪:电力、大宗气体1套;44.解胶机:电力1套;45.超声扫描显微镜:电力、给排水、大宗气体1套;46.贴膜机:电力、大宗气体1套;47.激光隐切(DSI-S-TC9221):排风、电力、给排水、大宗气体1套;48.化合物激光隐形切割:排风、电力、大宗气体1套;49.晶圆裂片机:电力、给排水、大宗气体1套;50.划片机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;51.划片清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;52.CMP (POLI-500):排风、电力、给排水、大宗气体1套;53.CMP后清洗设备TSC-100C:排风、电力、给排水、大宗气体1套;54.减薄机IVG-3020:排风、电力、给排水、大宗气体1套;55.扩膜机:电力、大宗气体1套;56.抛光机TAP-500:排风、电力、给排水、大宗气体1套;57.贴蜡机TWB-1260V:电力、给排水、大宗气体1套;58.清洗甩干机:排风、电力、给排水、大宗气体2套;59.湿法刻蚀:排风、电力、给排水、大宗气体1套;60.化学刻蚀清洗台1:排风、电力、给排水、大宗气体1套;61.化学刻蚀清洗台2:排风、电力、给排水、大宗气体1套;62.湿法刻蚀清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;63.洁净烘箱2(MOLWG-120):排风、电力、给排水、大宗气体3套;64.临界点干燥:排风、电力、大宗气体1套;65.半自动掩模版清洗机:排风、电力、给排水、大宗气体1套;66.湿法氧化炉(VCSEL):排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;67.卧式LPCVD:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;68.高温烤盘炉:排风、电力、给排水、大宗气体&特气、尾排1套;69.H2纯化器:排风、电力、大宗气体&特气1套;70.大流量氢气发生器(2):排风、电力、给排水、大宗气体&特气1套。
联系人:吴国才
联系电话:0755-******
预计采购时间:2025-04
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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快照:2025-03-07
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